微光学对于200mm晶圆技术的需求日益增长。MEMS和半导体工业已有的工艺条件,几乎可以制 作任意微光学器件的结构。微镜压印技术(SMILE)采用软质模板, 在待压印材料上制作高质量 的微镜阵列,待压印材料是8英寸玻璃基片上的紫外可固化聚合物待压印材,。该技术的典型应用 是手机和小型图像传感器中使用的晶圆级照相机(WLC)。